| 1. | 吸收法 |
| | 為氣態污染物於廢氣與洗滌液接觸時，藉由分子擴散、紊流等質量傳送及化學反應等現象傳入洗滌液，使污染物質分離而去除，以達到淨氣的效果。 |
| | 吸收亦可稱之為洗滌，可區分為物理吸收與化學吸收二種。化學吸收主要是利用吸收劑與氣體污染物產生反應而予去除；而物理吸收主要是藉由氣體在液體中的溶解度，而達到去除空氣污染物的目的。通常化學吸收可藉升高操作溫度、壓力來增加反應速率，不過同時卻降低了物理吸收的速率，至於物理吸收在較低溫操作下可達到較佳的去除效果。一般而言，化學吸收可使污染物濃度趨近於零排放，而物理吸收只能把污染物濃度降低至某程度，因此化學吸收在某些氣體污染物的控制及應用上相當重要。 |
| | 吸收法之設備一般有噴霧塔、填充式洗滌塔及板狀式洗滌塔等，一般業者基於經濟性與效率的考量，以填充式洗滌塔最常為業者所應用。吸收法對揮發性有機化合物的去除率與所選擇之吸收劑種類、吸收塔之設計及系統操作情形有關，因此選用特定之吸收劑、降低操作溫度或加大吸收設備，理論上皆可有效提高揮發性有機化合物去除率。 |
| 2. | 吸附法 |
| | 吸附作用為固體本身表面力的作用吸引氣體分子，而具有表面吸附能力的固體稱為吸附劑，被吸附於固體表面的物質則稱為吸附物質。 |
| | 吸附法適於處理風量大含有低濃度揮發性有機化合物之廢氣，其最大特色為能在符合經濟條件之操作範圍內，幾乎完全除去廢氣中某些揮發性有機化合物之成分。此等廢氣經吸附處理後，其污染物濃度一般皆可符合環保法令之排放濃度。最常用的吸附系統是以活性碳作為吸附劑，主要是由因為活性碳對某些特定揮發性有機化合物之物理吸附效果良好，且容易回收及再生。至於其他吸附劑如矽膠、矽藻土、活性氧化鋁、或合成沸石等，則對部分揮發性有機化合物成份之吸附選擇性較高。 |
| | 進入活性碳吸附塔之廢氣需視實際情況進行廢氣之調理工作，若廢氣本身含有固體顆粒、高沸點有機物或易聚合物質時，則必需先進行過濾之預處理；若廢氣相對濕度大於50％，則必需先進行除濕；若廢氣溫度超過40℃時，最好先加以冷卻，因吸附效率在溫度大於40℃時會明顯降低。另外也要避免因活性碳吸附過程中產生之熱量，造成活性碳床溫度過熱，因此當廢氣濃度高於10,000ppm時，應在吸附前採用稀釋的方式降低污染物濃度。 |
| 3. | 冷凝法 |
| | 將廢氣降溫至揮發性有機化合物之露點溫度(dew point)以下，使之凝結為液態並加以回收的方法。冷凝法普遍應用於原料或產品之分離及純化，亦可作為控制揮發性有機物之用。 |
| | 冷凝法對有機物質的回收程度，與廢氣中揮發性有機化合物的濃度、能被冷卻的溫度及冷媒的種類有關。由於以此方法回收揮發性有機化合物之成本較高，因此一般常用於欲回收之揮發性有機化合物具高回收價值且成分單純、濃度高之情況。 |
| 4. | 生物處理法 |
| | 生物處理法為污染物（如揮發性有機化合物等）通過生物處理系統的過程中，藉由微生物之分解、氧化、轉化等機制，將污染物完全分解氧化成二氧化碳、水、NO3-及SO42-等無害性之無機物。雖然生物處理法具有無二次污染的特性，然而與其它污染防治技術相較下，在選用時尤須考量地域性參數所影響之整體成本，諸如土地價格、水費、電費之高低及法令標準等；除此之外，該技術是否已充分落實本土化及在國內具有相當的成熟性，亦直接影響後續的處理效率及操作維護費用。 |
| | 生物處理法依微生物之型態，可區分為生物濾床、生物滴濾塔與生物洗滌塔等三種，一般應用在揮發性有機化合物控制上的生物處理法有生物濾床及生物滴濾塔。 |
| 5. | 直接焚化與觸媒焚化 |
| | 焚化法乃將含有揮發性有機化合物成份的氣體在高溫下氧化分解，而達清淨之廢氣以排放，此法主要優點為適用於所有可燃性成份，而其缺點為燃料消耗量大，操作成本高。焚化爐設計能供給氧氣、滿足燃燒溫度、停留時間及廢氣擾流等四個燃燒條件，其中每個條件皆可視需要情況加以修正，並準確控制，以使廢氣完全燃燒，達到預期之處理效果。另外，揮發性有機化合物氣體在與空氣於一定溫度下混合時，其體積之濃度分率需在燃燒界限範圍內才可燃燒。若廢氣所含揮發性有機化合物污染物質濃度不高，則來自污染物成份之燃燒產生熱對廢氣溫度提升相當有限，欲如此處理尚需添加適量輔助燃料，才能達到所需之燃燒溫度。 |
| | 焚化法依觸媒之有無，一般分為直接焚化（簡稱熱焚化）及觸媒焚化二種。依熱回收方式，焚化設備又可分為熱回收型及熱再生型。熱回收型者以表面式熱交換器回收焚化設備高溫排氣熱量，一般熱回收率小於70％；熱再生型者以陶磁蓄熱材回收排氣熱量，一般熱回收率可達90％以上。 |
